3月20日，北方華創公告稱，公司擬參與中科天盛對所持合計1689.98萬股芯源微股份的公開掛牌競買，掛牌價格不低于85.71元/股，總價不低于14.48億元。另外，公司于2025年3月10日與沈陽先進制造技術產業有限公司簽署股份轉讓協議，協議受讓1906.49萬股芯源微股份，如上述交易完成，則公司對芯源微的持股比例將達到17.90%。在半導體裝備業務板塊，公司的主要產品包括刻蝕、薄膜沉積、爐管、清洗、快速退火和晶體生長等核心工藝裝備，芯源微的主要產品包括涂膠顯影設備等核心工藝裝備。雙方同屬集成電路裝備行業，但產品布局有所不同，具有互補性，有利于雙方協同效應的發揮。