晶瑞電材在互動平臺表示，目前公司擁有成系列的光刻機五臺。2022年7月5日，公司子公司蘇州瑞紅KrF光刻機及配套設備順利搬入實驗室，這將為公司KrF光刻膠的產品開發及生產品質管控提供有力保障。公司KrF光刻膠生產及測試線已經基本建成，設備正在安裝調試中，爭取今年批量供貨。